工作职责 1. 设计六自由度微动平台，实现XYZ轴±2nm重复定位精度 2. 开发主动隔振系统，衰减频宽达0.1-500Hz（振动抑制≥45dB） 3. 主导光刻机双工件台关键技术攻关项目
任职要求 1. 精密仪器/机械电子博士，参与国家04专项者优先 2. 掌握纳米级运动控制算法（PID+前馈补偿） 3. 具有蔡司/尼康精密设备开发经验优先
